半導体製造装置の総合エンジニアリング

情報Tool 普及の根源と言われる半導体、その半導体技術を支えるキーテクノロジーである半導体製造装置、その半導体を作る半導体製造装置の稼動にはさまざまな要素が必要とされます。

化学的反応、物理的反応、反応現象を管理するプロセスコントローラーと計測器、デバイス製造に必要なレシピの管理を中心に働くコンピューターシステム、ウエハー搬送系( メカトロニクス/ ロボット)、反応プロセスに必要なファシリティ( 反応ガス/ 薬液/ 窒素/ 高圧空気)、電気( 強弱電源)、高周波プラズマ、水( 冷却水/ 純水)、高真空、オペレーション用ソフトウエアなど等、複数の要素が必要であり、複雑な数百種類のプロセス工程を経て作られる半導体( 集積回路) は、この要素が集結した半導体製造装置によって生産されます。

AlphaNy は半導体製造装置のトータルサポートを目指す総合エンジニアリング＆フィールドサポートの会社です。

1．フィールドサービス

半導体製造装置のトラブルシュート、メンテナンス、および改造から移設作業まで種々のサービスを行います。
トラブルシューティングは、弊社の経験豊富な技術者がオンコールから修復まで迅速な対応をします。

装置の移設では、解体、運搬据付、付帯工事、立ち上げまで、一貫したサービスを提供します。装置のプロセス変更などに伴う改造も行っております。

2．部品の販売、修理

装置各種装置は、真空部品、プロセス部品、電源、ガス関係、搬送ロボットなどいろいろな部品、ユニットで構成されています。それらの部品を供給致します。また、修理、再生も行います。

3．装置の稼働率向上のためのＫＡＩＺＥＮ作業およびコンサルティング

装置の信頼性を向上させ稼働率をアップさせるためのＫＡＩＺＥＮを行います。迅速な対応で、装置の修理、復旧を行い、細やかな対応で、故障内容を分析し、"再発防止"、"未然予防" を行います。

装置の稼働率向上のために、搬送系の調整治具や、標準品を改善し、性能、耐久性を向上させたユニットを提供します。

4．中古装置の販売、改造、再生

各種中古装置の販売を行います。

装置コンフィグレーションの変更、チャンバーおよびプロセスキットの再生・変更、ガスパネルの改造など、お客様の要求仕様にマッチングした装置への改造、再生しから、立上げまでの一気通貫のサービスを提供します。